迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统（型号： BTF-1200C-R-S-PECVD）

所属分类：PECVD系统
点击次数：
发布日期：2020/03/09
规格：
类型：
在线询价

详细介绍

浏览同类商品

上一页：卷对卷石墨烯连续生长设备

产品名称：迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统（型号： BTF-1200C-R-S-PECVD）

产品详细介绍

主要特点

本款设备可以做金属复合石墨烯材料，是目前最高端的金属复合材料制备设备。可以用于动力电池，提升电池内阻和能量密度，有效解决新能源汽车电池的问题。

1.该设备炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀；

2.可左右大角度倾斜，方便出放料，倾斜角度在0~35°之间。

3.该款设备是全自动Plasma增强CVD系统（PECVD），连续可控温度以及Plasma强度等，配备真空系统，可以实现低压条件下的实验，针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。

技术参数

1、加热系统：

型号	BTF-1200C-R-S-PECVD
显示模式	10"液晶触屏显示
最高温度	1100℃
升温速率	10℃/S
控温精度	±1℃
加热元件	电阻丝
热电偶	K型
控温方式	10"液晶触屏与工控仪表双重控温，模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。
炉管尺寸	Φ25800mm （中间部位尺寸Φ50225）
炉管转速	3~13r/min
倾斜角度	0~35°
加热功率	2KW

2、射频电源

信号频率	13.56 MHz±0.005%
功率输出范围	0W~100W
最大反射功率	100W
射频输出接口	50 Ω, N-type, female
功率稳定度	≤5W
谐波分量	≤-50dbc
供电电压	单相交流（187V-253V）频率50/60HZ
整机效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷却方式	强制风冷

3、四路质子流量控制系统

外形尺寸	600x600x650mm
连接头类型	双卡套不锈钢接头
标准量程（N₂)	50sccm,50sccm,200sccm,and 500sccm（量程和数量可选）
准确度	±1.5%F.S
线性	±1%F.S
重复精度	±0.2%F.S
响应时间	气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围	0.1～0.5 MPa
最大压力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
显示	4位数字显示
工作环境温度	5~45高纯气体
压力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀	Φ6
内外双抛不锈钢管	Φ6

4、低真空机组

空气相对湿度	≤85%
工作环境	5℃～40℃
工作电电压	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽气速率	10m³/h
实验真空	10^-1Pa
工作压力范围	1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐压值	0.03MPa
容油量	1.1L
进气口口径	KF25
排气口口径	KF25
噪音	50dB
外形尺寸	600×600×600mm
连接方式	采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连
配用规管	ZJ-52T电阻规
测量范围	10 ⁵ ～10^-1 Pa
控制方式	5×10 ³ ～5×10^-1 Pa
控制方式	继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载
通讯接口	USB
外形尺寸	1000400720mm