双温区PECVD系统 BTF-1200C-II-PECVD/BTF-1200C-II-SL-PECVD

所属分类：PECVD系统
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发布日期：2020/03/09
规格：
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详细介绍

主要特点

400℃开启式真空预热管式炉不仅是可以提高热交换性能，降低热量损耗的一种预热设备，也可以作为1000℃小型加热炉进行抽真空，通气氛实验；加热区长度100mm，恒温区60mm；炉管工件横穿与上下各8组进口电阻丝的炉膛，温场均匀，内外温差可控制在3度左右。滑轨式PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。

1.与传统CVD系统比较，生长温度更低。

2.使用滑轨炉实现快速升温和降温。

3.设备特有的zhuanli技术使得整管辉光均匀等效，均匀生长。

技术参数

硫粉预热器	型号：BTF-400C 工作温度：350℃ 最高温度：400℃ 最快升温速率：30℃/min 推荐升温速率：10℃/min 控温方式：智能化30段可编程控制工作电压：AC220 V 额定功率：800W 控温精度：±1℃ 加热元件：电阻丝
加热炉	技术参数：额定功率(KW):3 额定电压(V):AC220v 50/60 Hz 最高温度(℃):1200（1 hour）持续工作温度(℃）：1100 升温速率（℃/min）：≤50 炉管尺寸（mm）：高纯石英管Φ50×1200mm 加热区长度（mm）：440mm 恒温区长度（mm）:200mm 控温方式:模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能控温精度(℃):±1 加热元件:电阻丝
供气系统（GMF-3Z）	重量：35Kg 外形尺寸：600x600x650mm 连接头类型：双卡套不锈钢接头。标准量程（N2)：100sccm、200sccm （可根据用户要求定制）准确度：±1.5% 线性：±0.5～1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa 最大压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显示：4位数字显示工作环境温度:5~45高纯气体内外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格截止阀：Φ6
低真空机组（VAU-02）	技术参数：空气相对湿度≤85%，工作电电压：220V±10% 50~60HZ 功率：1千瓦抽气速率：10m³/H 极限真空：4X10-2Pa 实验真空度：1.0X10-1Pa 容油量：1.1L 进气口口径：KF25 排气口口径：KF25 转速：1450rpm 噪音：50dB 外型寸:600×600×600mm
射频电源	信号频率：13.56MHz±-0.005% 射频功率输出范围：5W-500W 最大反射功率：200W 射频输出接口：50Ω。N-type,female 功率稳定度：±0.1% 谐波分量：≤-50dbc 供电电压：单相50/60Hz 220v±10% 整机效率：>=70% 功率因素：>=90% 冷却方式：强制风冷