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主要特点
这是一款针对太阳能硒化设计的专用炉，炉体上端腔体可以实现离子增强硒化功能，利用上下腔体内的压差实现硒化气体均匀扩散乘积在基体表面。上腔体温度调节范围50-600度，等离子强度0-500W可调，下腔体0-800度可调。可以定制下腔体连续工作。
技术参数
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功率 |
上炉体：1.5kw |
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下炉体：5kw |
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射频功率 |
0-500W可调 |
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炉膛尺寸 |
上腔体：100*100*100mm |
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下腔体：240*300*100mm |
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炉膛温度 |
上腔体：50-600度可调 |
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下腔体：50-800度可调 |
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重量 |
220Kg |
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外型尺寸 |
1200*900*1600mm |
