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该PECVD（等离子化学气相沉积系统）系统，有多路质量流量计系统（进口流量计），真空机组（进口真空泵），PE射频电源（进口射频源），温控系统等装置构成。使用PE源将气源等离子化，有利于降低工艺温度，同时扩大工艺的使用条件，满足更多的工艺实验要求，如石墨烯、C纳米管等，控制操作系统集成于触摸屏操作面板上，便于操作与观察。
技术参数：
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双温场滑轨炉（BTF-1200C-S-SL）
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主要特点： 滑轨式快速升温炉是专为生长石墨烯研制的石墨烯生长专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验，这款设备是根据开启式真空管式炉改装而来的，操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。 技术参数： 额定功率（KW）：4 额定电压（V）：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz 最高温度（℃）：1200（1 hour） 持续工作温度（℃）：1100 最大升& 降温速率（℃/S）：≤20 炉管尺寸（mm）：高纯石英管Φ50×1900（管径可选） 加热区长度（mm） :230+230 恒温区长度（mm）：100+100 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制具有超温和断偶报警功能 控温精度（℃）：±1
认证标准： 密封系统：炉管两端配304不锈钢水冷密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表，法兰进气端配置两个Φ6mm卡套进气口。 净重（Kg）：80 |
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射频电源 500W
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信号频率:13.56 MHz±0.005% 功率输出范围:L5W-500W 最大反射功率:200W 射频输出接口:50 Ω, N-type, female 功率稳定度:±0.1% 谐波分量:≤-50dbc 供电电压:单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ 整机效率:>=70% 功率因素:>=90% 冷却方式:强制风冷 |
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供气系统
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工作电压：185~245V 50HZ 最大输出功率：18W 流量计标准量程：100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选） 工作温度：5~45℃ 工作压差：0.1~0.5MPa 最大压力：3MPa 准确度：±1.5% FS 测量范围：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） 针阀：316不锈钢 混气罐：Φ80×120mm 截止阀：Φ6mm”316不锈钢针阀 尺寸：600×600×650 mm |
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低真空机组VAU-02
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空气相对湿度： ≤85% 工作电电压：220V±10% 50~60HZ 功率：500瓦 抽气速率：8m³/h 极限真空：4X10-2Pa 实验真空度：1.0X10-1Pa 容油量： 1.1L 进气口口径：KF25 排气口口径：KF25 转速：1450rpm 噪音：50dB 外型尺寸：600×600×600mm |
