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双温区磁力拉杆设备BTF-1200C-II-SL

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双温区磁力拉杆设备BTF-1200C-II-SL

  • 所属分类:cvd系统

  • 点击次数:
  • 发布日期:2020/03/09
  • 规格:
  • 类型:
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  • 详细介绍

主要特点

 

  此设备具有两个独立的温场,温场之外配有磁力拉杆和石英料舟,并配有内探热电偶,可实现在

实验过程中将固态源(如硫粉、硒粉等)推进热场,并同时可检测温度。

 

 

技术参数

 

        

BTF-1200C-II-SL

温场

两个独立温场

最高温度

1200℃

工作温度

1100℃

推荐升温速率

10℃/min

炉管

高纯度石英管Φ50x1400mm(可根据要求设计)

加热区长度

200+200mm

恒温区长度

200mm

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

 

供气系统

外形尺寸

600x600x650mm

 

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

100sccm200sccm500sccm; (可根据用户要求定制);准确度:±1.5%;线性:±0.51.5%;重复精度:±0.2%

 

响应时间

气特性:14 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.10.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管

Φ6

压力真空表

-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

截止阀

Φ6

真空机组

空气相对湿度

≤85%

工作电压

220V±10% 50~60HZ

功率

1千瓦

 

抽气速率

10m³/H

 

极限真空

4X10-2Pa

 

实验真空度

1.0X10-1Pa

 

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

 

排气口口径

KF25

转速

1450rpm


本文网址:http://www.kaihengtech.com/product/1436.html

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