重庆实验仪器设备厂家

产品分类

热门关键词

联系我们

企业名称:重庆开衡科技有限公司

统一服务热线:023-62941604

传真:023-86112012

服务热线:15310333058(李小姐)

销售热线:13628370839(罗经理)

                 13883368921(温经理)

技术服务热线:17302321864(马经理)

网址:www.kaihengtech.com 

详细地址:重庆市南岸区南坪街道福红路56号2栋2单元22-6号


进口高真空CVD系统(BTF-1700C-CVD)

您的当前位置: 首 页 >> 产品展示 >> cvd系统

进口高真空CVD系统(BTF-1700C-CVD)

  • 所属分类:cvd系统

  • 点击次数:
  • 发布日期:2020/03/09
  • 规格:
  • 类型:
  • 在线询价
  • 详细介绍

主要特点

 

   炉体采用硅钼棒加热最高温度可至1650℃,高真空系统采用进口分子泵机组,一键操作,简洁方便,无噪音,同时配高精度的质量流量计系统。通过标准配件连接,全部采用不锈钢材料,电抛光处理。其广泛应用于荧光粉材料,金属材料,磁性材料,半导体材料,陶瓷材料,电化学,薄膜材料,CVD,石墨烯,硅纳米管,纳米线,等研究领域

 

技术参数

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

加热区参数

 

炉管尺寸:Φ 60/80×1000mm(管径可选)

炉管材质:99高纯刚玉管

最高温度:1700

工作温度:1650

恒温精度:±1

温度均匀性:小于±5

升温速度:0-15℃/分钟自由设定

控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
炉膛材料:高纯氧化铝多晶纯纤维,不参氧化铝粉,洁净节能。

加热区:300mm

恒温区:150mm

外型尺寸:610×440×720mm

标准配件刚玉管1根,不锈钢密封法兰1套,氟胶密封圈2套,氧化铝管堵4只高温手套1副坩埚钩1支小保险1

密封系统:炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头)

端口可按实际使用扩展。

备注:可选配1200℃、1400℃、1600℃、1500℃等不同温区的管式炉。

 

 

 

 

 

 

 

气路系统参数

 

质量流量计参考量程(N2):200sccm、500sccm、1000sccm (量程可选)

准确度:±1.5%

线性:±0.5~1.5%

重复精度:±0.2%

响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围:0.1~0.5 MPa

最大压力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

显示:4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体             

内外双抛不锈钢管:Φ6

压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀:Φ6

连接头类型:双卡套不锈钢接头。

备注:可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

 

 

 

 

 

 

 

高真空系统参

 

该系统由英国原装进口的前级无油泵,后级分子泵,真空传感器和电子控制系统和LED液晶显示组成,此系统是用来抽吸或压缩空气和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体,以便在封闭容器中形成真空和压力,吸入气体中允许混有少量液体。

进口分子泵组: Edward

干湿:完全无油的干式真空泵组

分子泵抽速:61 L/s

前级泵抽速:1.2/h

极限总压:10-7mabr

启动时间:1.5 min

进气口: KF40

冷却方式:空冷

电压:单项,220V

重    量:14.5 Kg

功    率:300 W

泵体体积:250*356*357 mm


本文网址:http://www.kaihengtech.com/product/1425.html

关键词:

最近浏览:

相关产品:

相关新闻:

联系电话:023-62941604 /15310333058(温经理  传真:023-86112012 

公司地址:重庆市南岸区南坪街道福红路56号2栋2单元22-6号    网址:www.kaihengtech.com 

渝ICP备2021001892号-1

在线客服
分享 一键分享
欢迎给我们留言
请在此输入留言内容,我们会尽快与您联系。
姓名
联系人
电话
座机/手机号码
邮箱
邮箱
地址
地址