服务热线:
023-62941604
023-86112012
服务热线:
023-62941604
023-86112012
企业名称：重庆开衡科技有限公司
统一服务热线：023-62941604
传真：023-86112012
服务热线：15310333058（李小姐）
销售热线：13628370839（罗经理）
13883368921（温经理）
技术服务热线：17302321864（马经理）
网址：www.kaihengtech.com
详细地址：重庆市南岸区南坪街道福红路56号2栋2单元22-6号
该供气系统是一种可控制四种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制，此款设备能与各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
配置组件 | 技术参数 | |
质量流量控制器 | 工作电压： | 185~245V 50HZ |
最大输出功率： | 18W | |
流量计标准量程： | 100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选） | |
工作温度： | 5~45℃ | |
工作压差： | 0.1~0.5MPa | |
最大压力： | 3MPa | |
准确度： | ±1.5% FS | |
机械压力表 | 测量范围： | -0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） |
针阀 | 316不锈钢 | |
混气罐 | Φ80×120mm | |
截止阀 | Φ6mm”316不锈钢针阀 | |
尺寸 | 600×600×650 mm | |
